আয়ন সংবেদনশীল ক্ষেত্র-প্রভাব ট্রানজিস্টার - আইএসএফইটি ওয়ার্কিং নীতিমালা

সমস্যাগুলি দূর করার জন্য আমাদের উপকরণটি ব্যবহার করে দেখুন





দ্য আয়ন সংবেদনশীল ক্ষেত্রের প্রভাব ট্রানজিস্টর চিপ সিস্টেমে মাইক্রো ইলেক্ট্রোকেমিক্যাল ল্যাব-এ উপন্যাস সংহত ডিভাইস। এগুলি রাসায়নিক ধরণের সংবেদনশীল ক্ষেত্রের প্রভাব ট্রানজিস্টরগুলির সাধারণ ধরণের এবং কাঠামোটি সাধারণের মতো ধাতু অক্সাইড সেমিকন্ডাক্টর ফিল্ড এফেক্ট ট্রানজিস্টর । সংবেদনশীল অঞ্চলটি একটি ট্রানজিস্টার গেট উপস্থাপন করে এবং আয়ন ঘনত্ব থেকে ভোল্টেজে স্থানান্তরিত করার উপায়কে অন্তর্ভুক্ত করে। ইসফেটের ক্ষেত্রে ধাতব অক্সাইড এবং ধাতব গেটগুলি সাধারণ মোসফেটের সাথে সাধারণ দ্রষ্টব্যগুলির সাথে সমাধানগুলিতে গভীর রেফারেন্স ইলেক্ট্রোডগুলি দ্বারা প্রতিস্থাপিত হয় এবং অন্তরক স্তরগুলি নির্দিষ্ট বিশ্লেষক সনাক্ত করার জন্য হয়। ইনসুলেটিং স্তরগুলির প্রকৃতি ISFET সেন্সর হলে কার্যকারিতা এবং সংবেদনশীলতা হিসাবে সংজ্ঞায়িত হয়।

ইসফেট কী?

আইএসএফইটিটির সংক্ষিপ্তসারটি আয়ন সংবেদনশীল ক্ষেত্রের প্রভাব ট্রানজিস্টর। এটি ফিল্ড এফেক্ট ট্রানজিস্টর , আয়ন সমাধানের ঘনত্ব পরিমাপ করার জন্য ব্যবহৃত হয়। এইচ + এর মতো আয়ন ঘনত্বকে পিএইচ হিসাবে পরিবর্তন করা হয় তার ফলস্বরূপ ট্রানজিস্টারের মাধ্যমে বর্তমানের পরিবর্তন হয়। এখানে গেট বৈদ্যুতিন হ'ল সমাধান এবং অক্সাইড পৃষ্ঠ এবং স্তরটির মধ্যে ভোল্টেজ আয়ন মেশানের কারণে to




আইএসএফইটি

আইএসএফইটি

ইসফেটের কার্যনির্বাহী

একটি আইএসএফইটি পিএইচ ইলেক্ট্রোডের কার্যকারী নীতিটি হল সাধারণ ফিল্ড এফেক্ট ট্রানজিস্টারের পরিবর্তন এবং সেগুলি ব্যবহৃত হয় অনেক পরিবর্ধক সার্কিট । আইএসএফইটিতে সাধারণত ইনপুটটি ধাতব গেট হিসাবে ব্যবহৃত হয়, যা আয়ন-সংবেদনশীল ঝিল্লি দ্বারা প্রতিস্থাপিত হয়। সুতরাং আইএসএফইটিটি একটি ডিভাইসে সংবেদনশীল পৃষ্ঠকে একত্রিত করে এবং একটি একক পরিবর্ধক উচ্চ বর্তমান, কম প্রতিবন্ধক আউটপুট দেয় এবং এটি অপ্রয়োজনীয় ieldাল ছাড়াই সংযোগ কেবলগুলি ব্যবহারের অনুমতি দেয়। নিম্নলিখিত চিত্রটি ISFET পিএইচ ইলেক্ট্রোডের চিত্র দেখায়।



ইসফেটের কার্যনির্বাহী

ইসফেটের কার্যনির্বাহী

প্রচলিত কাঁচের বৈদ্যুতিন থেকে পিএইচ পরিমাপের জন্য বিভিন্ন মেশিন রয়েছে। পরিমাপ নীতিটি দুটি সেমিকন্ডাক্টরের মধ্যে প্রবাহিত প্রবাহের নিয়ন্ত্রণের উপর ভিত্তি করে, তারা ড্রেন এবং উত্স। এই দুটি সেমিকন্ডাক্টর একটি তৃতীয় বৈদ্যুতিন এক সাথে স্থাপন করা হয় এবং এটি গেট টার্মিনাল মত আচরণ করে। গেট টার্মিনালটি পরিমাপ করার সমাধানটিতে সরাসরি যোগাযোগ করা হয়।

আইএসএফইটি নির্মাণ

আইএসএফইটি নির্মাণ

আইএসএফইটি-র তৈরির পদক্ষেপ

  • নিম্নলিখিত ধাপে ধাপে প্রক্রিয়া ISFET এর বানোয়াট দেখায়
  • আইএসএফইটি সিএমওএস প্রযুক্তির সহায়তায় এবং কোনও পোস্ট প্রসেসিং পদক্ষেপ ছাড়াই গড়া
  • সমস্ত বানোয়াট বাড়িতে মাইক্রো ফ্যাব্রিকেশন ল্যাব মধ্যে সম্পন্ন করা হয়
  • উপাদানটি 4 ইঞ্চি পি-টাইপ সিলিকন ওয়েফার হওয়া উচিত
  • আইএসএফইটি-তে গেট টার্মিনালটি সিও 2, সি 3 এন 4, উভয় সিওএমএস কম্পিউটেবল উপকরণ দিয়ে তৈরি করা হয়।
  • ছয়টি মাস্কিং পদক্ষেপ রয়েছে যা এন-ওয়েল, এন এবং পি উত্স নালা, গেট, যোগাযোগ এবং উপাদানগুলির তৈরি।
  • Si3N4 এবং SiO2 এর ডিজাইনটি বাফার অক্সাইড ইচ সমাধানগুলির মাধ্যমে

নিম্নলিখিত বানোয়াট পদক্ষেপগুলি আয়ন সেন্সিং ফিল্ম হিসাবে সিলিকন নাইট্রাইড জমা দেওয়ার সময়কালে স্ট্যান্ডার্ড এমওএসএফইটি প্রক্রিয়াটি দেখায়। সিলিকন নাইট্রাইড জমা করার কার্যকারিতা হ'ল প্লাজমা বর্ধিত রাসায়নিক বাষ্প জমার পদ্ধতিতে সহায়তা করে method চলচ্চিত্রের বেধটি উপবৃত্তাকার সাথে পরিমাপ করা হয়। নাইট্রাইড জমার পরে, প্রক্রিয়াটি যোগাযোগের মুখোশটি ব্যবহার করে ফর্মের সাথে যোগাযোগ করা অবিরত করা হয়।

আইএসএফইটি-র তৈরির পদক্ষেপ

মনগড়া পদক্ষেপগুলি স্ট্যান্ডার্ড এমওএসএফইটি প্রক্রিয়া দেখায়

Si3N4 এবং SiO2 এর নকশা বাফার অক্সাইড ইচ সমাধানগুলির মাধ্যমে

সিলিকন নাইট্রাইডের জন্য এচিং পদক্ষেপ

ভিজা রাসায়নিক ইচ বিএইচএফ উত্স এবং নিকাশী অঞ্চল থেকে এচিং এবং অন্তর্নিহিত নাইট্রাইড এবং অক্সাইড ফিল্মগুলির জন্য ব্যবহৃত হয়। বিএইচএফের রীতিনীতি সিলিকন নাইট্রাইডের জন্য অতিরিক্ত এচিং পদক্ষেপটি মুছে ফেলতে সহায়তা করে। শেষ এবং চূড়ান্ত পদক্ষেপটি ISFET জালিয়াতির মধ্যে ধাতবকরণ। গেট অঞ্চলের কাছে অয়ন সংবেদনশীল ক্ষেত্র-প্রভাব ট্রানজিস্টারে ধাতব স্তর নেই, ধাতবকরণ উত্স এবং নিকাশী পরিচিতিতে সরবরাহ করা হয়। অয়ন সংবেদনশীল ক্ষেত্র-প্রভাব ট্রানজিস্টর মনগড়া বিষয়গুলির সহজ এবং প্রধান পদক্ষেপগুলি নিম্নলিখিত চিত্রটিতে দেখানো হয়েছে।


আইএসএফইটি পিএইচ সেন্সর

এইগুলো সেন্সর ধরণের পিএইচ পরিমাপের জন্য পছন্দ এবং এটি উচ্চ স্তরের পারফরম্যান্সের জন্য প্রয়োজনীয়। সেন্সরটির আকার খুব ছোট এবং সেন্সরগুলি মেডিকেল অ্যাপ্লিকেশনগুলির অধ্যয়নের জন্য ব্যবহৃত হয়। আইএসএফইটি পিএইচ সেন্সরটি এফডিএ এবং সিইতে ব্যবহৃত হয় যা চিকিত্সা ডিভাইসগুলিকে অনুমোদন দেয় এবং তারা খাদ্য প্রয়োগের জন্যও সেরা কারণ গ্লাসটি ফ্রি এবং ক্ষুদ্র প্রোফাইলের সাহায্যে প্রোবগুলিতে লাগানো হয় যা উত্পাদনের ক্ষয়কে হ্রাস করে। আইএসএফইটি পিএইচ সেন্সরটি অনেক পরিবেশে প্রযোজ্য এবং শিল্প পরিস্থিতি যা ভেজা এবং শুকনো অবস্থার জন্য পরিবর্তিত হয় এবং কিছু শারীরিক পরিস্থিতিতে যেমন চাপ তৈরি করে প্রচলিত কাঁচের পিএইচ ইলেক্ট্রোড উপযুক্ত হবে।

আইএসএফইটি পিএইচ সেন্সর

আইএসএফইটি পিএইচ সেন্সর

ISFET পিএইচ এর বৈশিষ্ট্যগুলি

পিএইচ ইসফেটের সাধারণ বৈশিষ্ট্যগুলি নিম্নরূপ

  • আইএসএফইটিটির রাসায়নিক সংবেদনশীলতা সম্পূর্ণরূপে বৈদ্যুতিন সংস্থার বৈশিষ্ট্য দ্বারা নিয়ন্ত্রিত হয়
  • পিএইচ সেন্সরের জন্য বিভিন্ন ধরণের জৈব পদার্থ রয়েছে যেমন আল 2 ও 3, সি 3 এন 4, ট 2 ও 5 এর সিও 2 এর চেয়ে আরও ভাল বৈশিষ্ট্য রয়েছে এবং আরও সংবেদনশীলতা, কম ড্রিফট রয়েছে।

আইএসএফইটি এর সুবিধা

  • সাড়া খুব দ্রুত
  • এটি পরিমাপ ইলেকট্রনিক্সের সাথে একটি সহজ সংহতকরণ
  • প্রোব জীববিজ্ঞানের মাত্রা হ্রাস করুন।

আইএসএফইটি-র প্রয়োগসমূহ

আইএসএফইটিটির প্রধান সুবিধা হ'ল এটি মোসফেট এবং সংহত সার্কিটগুলির স্ট্যান্ডার্ড ট্রানজিস্টারের সাথে সংহত করতে পারে।

আইএসএফইটি এর অসুবিধাগুলি

  • বড় ড্রিফ্টের জন্য চিপ প্রান্তগুলি এবং বাঁধাকৃত সীসাগুলির সাথে অবিচ্ছিন্ন এনক্যাপসুলেশন প্রয়োজন
  • যদিও এই ডিভাইসের ট্রানজিস্টরের পরিবর্ধক বৈশিষ্ট্যগুলি দেখতে খুব ভাল। সংবেদনশীল রাসায়নিকগুলির জন্য, পরিবেশগত বিষক্রিয়া এবং পরবর্তীকালে ট্রানজিস্টর বিচ্ছিন্নতার জন্য অন্তরক ঝিল্লির দায় আইএসএফইকে বাণিজ্যিক বাজারগুলিতে জনপ্রিয়তা পেতে নিষেধ করেছে।

এই নিবন্ধটি আইএসএফইটিটির কার্যকরী নীতি এবং ধাপে ধাপে প্রক্রিয়া সম্পর্কে এর বানোয়াট বর্ণনা করে। নিবন্ধে প্রদত্ত তথ্যটি আয়ন সংবেদনশীল ক্ষেত্র-প্রভাব ট্রানজিস্টারের মূল বিষয়গুলি দিয়েছে এবং আপনার যদি এই নিবন্ধ সম্পর্কিত বা সম্পর্কে কিছু রয়েছে সিএমওএস এবং এনএমওএসের জালিয়াতি নীচের বিভাগে মন্তব্য করুন। আপনার জন্য এখানে প্রশ্ন, ইসফেটের কাজটি কী?

ছবির ক্রেডিট:

  • আইএসএফইটি ausmt
  • ইসফেটের কার্যনির্বাহী সে
  • আইএসএফইটি নির্মাণ all-about-ph
  • আইএসএফইটি পিএইচ সেন্সর microfluidics